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National Diet Library
- Subject HeadingGaAs オーミツク・コンタクト 低障壁中間層 InGaAs 拡散バリア材 コンタクト抵抗
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- Subject HeadingTiN プラズマCVD 薄膜生成 低周波プラズマ 低周波プラズマCVD 拡散バリア材 薄膜低温形成 集積回路材
Digital博士論文
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- Subject HeadingCu(Ti) 合金 自己形成 拡散バリア 薄膜 粒成長 双晶
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- Subject HeadingSiデバイス イオンプレーテイング (IP) 法 拡散バリア TiN膜 固相反応 TiSi2 (チタンシリサイド)