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半導体ウエハのin-situ温度計測システムの研究

半導体ウエハのin-situ温度計測システムの研究
Paper図書
井内徹, 東洋大学 [著][井内徹]2005-2006<Y151-H17560377>
National Diet Library
  • Subject Heading放射測温 / 半導体 / 温度計測 / 放射率 / 偏光 / 酸化膜...

Si半導体ウエハ-の温度計測法の研究

Si半導体ウエハ-の温度計測法の研究
Paper図書
井内, 徹, 東洋大学2001-2002<Y151-H13650468>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコン 半導体 ウエハ- 放射測温 放射率 偏光 酸化膜 薄膜

熱赤外線放射型CTを用いた燃焼火炎内温度分布計測システム

熱赤外線放射型CTを用いた燃焼火炎内温度分布計測システム
Paper図書
伊藤直史, 群馬大学 [著][伊藤直史]2002-2003<Y151-H14550411>
National Diet Library
  • Subject Heading温度計測 / 放射測温 / 赤外線センサ / CT / 計算機トモグラフィ

半導体材料の放射率と温度の計測法研究

半導体材料の放射率と温度の計測法研究
Paper図書
井内徹, 東洋大学 [著][井内徹]2003-2004<Y151-H15560364>
National Diet Library
  • Subject Heading半導体材料 / 放射率 / 温度計測 / 偏光 / 薄膜 / 酸化 / 放射測温法 / 透過率

紫外線放射測温法によるレーザ溶融加工プロセスのモニタリング

紫外線放射測温法によるレーザ溶融加工プロセスのモニタリング
Paper図書
黄地, 尚義, 大阪大学1998-2000<Y151-H10450272>
National Diet Library
  • Subject Heading紫外線放射測温法 レーザ溶融加工 アーク溶接 モニタリング 数値計算モデル...

常温付近の放射測温法の研究

常温付近の放射測温法の研究
Paper図書
井内, 徹, 東洋大学1994-1995<Y151-H06650481>
National Diet Library
  • Subject Heading放射測温 放射率 温度計測 黒体放射 迷光雑音 光センサ 赤外線 金...

数値モデル規範型レーザー加工システムに関する研究

数値モデル規範型レーザー加工システムに関する研究
Paper図書
黄地, 尚義, 大阪大学1995-1997<Y151-H07555520>
National Diet Library
  • Subject Headingレーザー溶融加工 アーク溶接 数値計算モデル 熱輸送 紫外線放射測温法 最適入熱条件 逆熱伝導問題

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