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- Subject Heading半導体デバイス製造 / 極端紫外光 / プラズマ / レーザー / パルスパワー
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- Subject Heading宇宙環境 / 低地球軌道 / 原子状酸素 / 紫外線 / 極端紫外線 / FBP / 複合環境 / エロージョン
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- Subject Heading極端紫外線 / 超伝導トンネル接合素子 / 2次元アレイ / EUV...
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- Subject Heading光解離 / 極端紫外光 / 水 / 放射光 / 振動励起分子 / レーザー / ...
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- Subject Heading酸素イオン ポーラーウインド 共鳴散乱 プラズマ撮像 極端紫外線
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- Subject Heading極端紫外光 ヘリウムイオン 金属フイルター 共鳴散乱 多層膜反射鏡
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- Subject Heading非線形光学 共鳴効果 第三高調波 水素分子 極端紫外 エキシマーレーザー
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- Authority(Subject Heading/altLabel)...所機器センター 分子科学研究所極端紫外光研究施設 UVSOR Facility, Institut...
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- Subject Heading極端紫外光リソグラフイ 超解像マスク 単層ハーフトーン位相シフトマス...
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- Subject Heading誘導ラマン散乱 色素レーザー 非線形光学 可変波長レーザー 共鳴四波混合 極端紫外 レーザー分光
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- Subject Heading電子-イオン衝突 イオンの励起 極端紫外分光 交差ビーム法 2電子再結合 イオンの電離
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