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有機結晶の微細加工技術を用いた波長変換用非線形光学微小素子の開発

有機結晶の微細加工技術を用いた波長変換用非線形光学微小素子の開発
Paper図書
伊藤, 良一, 東京大学1992-1994<Y151-H04555012>
National Diet Library
  • Subject Heading非線形光学 有機結晶 光学2高調波発生 波長変換 光導波路素子 微細加工 水溶性無機レジスト リソグラフイー

酸化物イオンレジストによる極微細加工技術の開発と応用

酸化物イオンレジストによる極微細加工技術の開発と応用
Paper図書
越田, 信義, 東京農工大学1989-1990<Y151-H01550304>
National Diet Library
  • Subject Heading微細加工 無機レジスト 集束イオンビーム 遷移金属酸化物 アモルファス薄膜 超LS...

高融点金属酸化物耐熱性レジストのSi微細加工への応用

高融点金属酸化物耐熱性レジストのSi微細加工への応用
Paper図書
馬場, 守, 岩手大学1987-1988<Y151-S62550217>
National Diet Library
  • Subject Heading電子線リソグラフイ 無機レジスト 不純物拡散 高融点金属 リフトオフ スバツタエツチング 酸...

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