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フツ素系および塩素系特殊ガスの化学反応による無害化処理技術の開発
フツ素系および塩素系特殊ガスの化学反応による無害化処理技術の開発
Paper
図書
芝田, 隼次, 関西大学
2000-2001
<Y151-H12555285>
National Diet Library
Subject Heading
環境保全 無害化処理
特殊材料ガス
半導体工業 3塩化ホウ素 4フツ化炭素 金属酸化物 金属塩...
半導体製造における有害化学物質の毒性に関する基礎的研究
半導体製造における有害化学物質の毒性に関する基礎的研究
Paper
図書
大前, 和幸, 慶応義塾大学
1989-1990
<Y151-H01570298>
National Diet Library
Subject Heading
半導体 シラン 半導体
特殊材料ガス
毒性 動物実験
半導体製造特殊ガスの呼吸器毒性評価-ジボランについてー
半導体製造特殊ガスの呼吸器毒性評価-ジボランについてー
Paper
図書
大前, 和幸, 慶応義塾大学
1994-1995
<Y151-H06670390>
National Diet Library
Subject Heading
ジボラン 半導体製造
特殊材料ガス
気管支肺胞洗浄液 サーフアクタント リン脂質 II型肺胞上...
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