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液面上の直流プラズマを利用する新しいCVD法の開発

液面上の直流プラズマを利用する新しいCVD法の開発
Paper図書
鈴木, 健之, 東京農工大学1999-2000<Y151-H11305052>
National Diet Library
  • Subject Heading直流プラズマ 化学気相析出法 プラズマジエツト ダイヤモンド CVD

新規な流動層反応装置を利用したシリコン系粉体製造プロセスの開発

新規な流動層反応装置を利用したシリコン系粉体製造プロセスの開発
Paper図書
小島, 紀徳, 成蹊大学1991-1993<Y151-H03555174>
National Diet Library
  • Subject Heading流動層 CVD 粒子コーテイング 直流プラズマ マイクロ波プラズマ 炭化珪素

反応プラズマ溶射法による材料表面のハイブリツド化

反応プラズマ溶射法による材料表面のハイブリツド化
Paper図書
岡根, 功, 豊橋技術科学大学1990-1992<Y151-H02452249>
National Diet Library
  • Subject Heading直流プラズマ溶射 高周波プラズマ 反応性プラズマ溶射 窒化物系セラミツク...

反射電子顕微鏡による原子尺度でのダイヤモンド膜成長過程のその場観察

反射電子顕微鏡による原子尺度でのダイヤモンド膜成長過程のその場観察
Paper図書
角田, 直人, 大阪大学1990-1991<Y151-H02650465>
National Diet Library
  • Subject Heading気相成長ダイヤモンド膜 結晶表面の微視的観察 ダイヤモンド膜の成長過程 反射電子顕微鏡像 熱フイラメント一直流プラズマ複合CVD法

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