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ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用
Paper図書
島田, 尚一, 大阪大学1997-1998<Y151-H09555045>
National Diet Library
  • Subject Heading直線基準 光線基準 レーザービーム 方向安定性 直線性 追尾性 直進...

光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用

光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用
Paper図書
島田, 尚一, 大阪大学1994-1996<Y151-H06555037>
National Diet Library
  • Subject Heading直線基準 レーザービーム 直進機構 真直度 方向安定性 形状測定

光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御

光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御
Paper図書
井川直哉, 大阪大学1989-1990<Y151-H01850032>
National Diet Library
  • Subject Heading直進運動精度 直線基準 運動精度 真直度 レーザービーム エラーモーシヨン

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