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球面半導体用単結晶シリコン微小ボ-ルの精密加工

球面半導体用単結晶シリコン微小ボ-ルの精密加工
Paper図書
柴田, 順二, 芝浦工業大学2001-2002<Y151-H13650130>
National Diet Library
  • Subject Heading研磨加工 研磨スラリ- ゾルゲル法 球研磨 真球度 シリカ粒子 CMP カツプ研磨方式

自動計測システムを備えたセラミツクス球の超精密ラツピングシステムの開発

自動計測システムを備えたセラミツクス球の超精密ラツピングシステムの開発
Paper図書
赤澤, 真, 宮城工業高等専門学校1995-1996<Y151-H07555045>
National Diet Library
  • Subject Headingセラミツクス ラツピング 球 真球度 精度 表面粗さ 自動計測 高速フーリエ変換 (FFT)

磁性流体を援用したセラミツク球の高能率超精密研削法の開発

磁性流体を援用したセラミツク球の高能率超精密研削法の開発
Paper図書
植松, 哲太郎, 富山県立大学1995-1996<Y151-H07650149>
National Diet Library
  • Subject Headingセラミツクス 窒化珪素 セラミツク球 磁性流体 高能率研削 真球度 ダイヤモンド砥石

機能性表面構造を有する人工関節に関する基礎的研究

機能性表面構造を有する人工関節に関する基礎的研究
Paper図書
勇田, 敏夫, 北海道大学1995-1997<Y151-H07458233>
National Diet Library
  • Subject Heading人工関節 摩擦・摩耗現象 カツプの摩耗 機能性表面構造 潤滑液の供給 摩耗粉のトラツプ パターン模様 真球度

セラミツクス球の超精密ラツピングシステムの開発

セラミツクス球の超精密ラツピングシステムの開発
Paper図書
赤沢, 真, 宮城工業高等専門学校1991-1993<Y151-H03555029>
National Diet Library
  • Subject Headingラツピング セラミツクス 球 真球度 表面粗さ 転がり軸受 球研磨盤 ダイヤモンドスラリ

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