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水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価

水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価
Paper図書
丸山, 一典, 長岡技術科学大学1998-1999<Y151-H10650689>
National Diet Library
  • Subject HeadingECRプラズマCVD 硬質炭素膜 熱腐蝕 RFバイアス マススペクトル ガス放出スペクトル

ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用

ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用
Paper図書
六倉, 信喜, 東京電機大学1994-1995<Y151-H06650028>
National Diet Library
  • Subject Headingダイヤモンド薄膜 プラズマCVD 高周波プラズマ 硬質炭素膜

カーボン超微粒子の高速衝撃における硬質非晶質炭素膜の潤滑性保護膜効果

カーボン超微粒子の高速衝撃における硬質非晶質炭素膜の潤滑性保護膜効果
Paper図書
井出, 敞, 愛媛大学1985-1986<Y151-S60550094>
National Diet Library
  • Subject Heading硬質炭素膜 アモルフアス半導体炭素膜 超微粒子 カーボンブラツク 微粒...

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