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フラックスエピタキシー法による高機能性単結晶基板の開発

フラックスエピタキシー法による高機能性単結晶基板の開発
Paper図書
鯉沼秀臣, 東京大学, 東京工業大学 [著][鯉沼秀臣]2004-2005<Y151-H16350110>
National Diet Library
  • Subject Headingレーザー分子線エピタキシー / コンビナトリアル薄膜法 / 3元組成傾斜膜法 / フラックス法 / 単結晶薄膜

デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構

デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構
Paper図書
篠崎, 和夫, 東京工業大学1999-2000<Y151-H11450242>
National Diet Library
  • Subject Headingデジタル制御MOCVD バツフアー層 組成傾斜膜 残留応力 Pb (Zr, Ti) O3 (PZT) PbT...

プラズマエツチングとプラズマ重合の同時制御による金属-高分子組成傾斜膜の試作

プラズマエツチングとプラズマ重合の同時制御による金属-高分子組成傾斜膜の試作
Paper図書
原口, 俊秀, 北九州工業高等専門学校1993-1994<Y151-H05650661>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマエツチング スパツタ プラズマ重合 組成傾斜膜 ステンレス鋼 表面処理 ESCA分析

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