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GaAsの分子層成長とその不純物添加技術に関する研究

GaAsの分子層成長とその不純物添加技術に関する研究
Paper図書
倉林徹, 半導体研究振興会 [著][倉林徹]2001-2003<Y151-H13450016>
National Diet Library
  • Subject HeadingGaAs / 分子層成長 / 原子層成長 / 自己停止機構 / 反応機構 / 不純物添加

原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究
Paper図書
横山, 新, 広島大学1999-2001<Y151-H11450125>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコン選択成長 原子層成長 自己停止機構 塩化水素脱離反応 2インチSiウエハ ガスフロ-パタ-...

原子層制御エピタキシーによる周期構造変調超格子作製と機能性新物質の創製

原子層制御エピタキシーによる周期構造変調超格子作製と機能性新物質の創製
Paper図書
岩井, 荘八, 理化学研究所1996-1997<Y151-H08455154>
National Diet Library
  • Subject Heading原子層成長 有機金属気相成長法 準結晶 GaAs 原子層超格子 X線回折 フイボナツチ数列 自己停止機構

シリコン/ゲルマニウム系半導体のサブ原子層単位成長デイジタルエピタキシー

シリコン/ゲルマニウム系半導体のサブ原子層単位成長デイジタルエピタキシー
Paper図書
須田, 良幸, 東京農工大学1996-1997<Y151-H08650369>
National Diet Library
  • Subject Heading原子層エピタキシー エピタキシー シリコン 自己停止 レーザー励起 マイグレーシヨン デイジタルエピタキシー ジ...

原子層制御された微細量子構造の作製とその物性評価

原子層制御された微細量子構造の作製とその物性評価
Paper図書
岩井, 荘八, 理化学研究所1994-1995<Y151-H06452224>
National Diet Library
  • Subject Heading原子層成長 有機金属気相成長法 量子ナノ構造 GaAs 選択成長 フオトルミネツセンス 量子閉じ込め効果 自己停止機構

極微細SiドツトPN接合素子の作製と擬一次元量子効果の解明

極微細SiドツトPN接合素子の作製と擬一次元量子効果の解明
Paper図書
堀池, 靖浩, 東洋大学1995-1995<Y151-H05452189>
National Diet Library
  • Subject Heading極微細SiドツトPN接合素子 擬一次元量子効果 原子層デジタルエツチング 自己停止反応 イオン注入 結晶欠陥 二重ゲートMOS細線 SOI細線

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