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垂直極微細加工可能なSiの
自己制限型
原子層エツチング技術の開発
垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エツチング技術の開発
Paper
図書
松浦, 孝, 東北大学
1994-1996
<Y151-H06555089>
National Diet Library
Subject Heading
原子層エツチング シリコン
自己制限型
ECRプラズマ 塩素 低エネルギーイオン照射 ゲルマニウム...
Si原子層エツチング表面における
自己制限型
表面吸着・反応素過程に関する研究
Si原子層エツチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究
Paper
図書
松浦, 孝, 東北大学
1994-1995
<Y151-H06452211>
National Diet Library
Subject Heading
原子層エツチング
自己制限型
吸着 シリコン 面方位依存性 ECR塩素プラズマ 低エネルギ...
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