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マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究

マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究
Paper図書
佐藤一雄, 名古屋大学 [著][佐藤一雄]2002-2004<Y151-H14205016>
National Diet Library
  • Subject Heading結晶異方性エッチング / シリコン / 水晶 / KOH / TMAH / エッチングメカニズム / 表面モフォロジー / シミュレーション

エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製
Paper図書
長谷川誠一, 金沢大学1997-1999<Y151-H09450124>
National Diet Library
  • Subject Heading多結晶シリコン 界面制御 結晶構造 基板のプラズマ処理 一軸配向 エツチング効果 結合構造 表面モフオロジー

有機金属分子線エピキタシー法(MOMBE法)によるZnSe青色発光素子の開発

有機金属分子線エピキタシー法(MOMBE法)によるZnSe青色発光素子の開発
Paper図書
葛西, 晴雄, 千葉大学1985-1987<Y151-S60460060>
National Diet Library
  • Subject Heading有機金属分子線エピタキシー ZnSeの結晶成長 ZnSeの成長機構 クラツキング特性 青色発光素子 II-V1化合物 表面モフオロジー

エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製
Digital文書・図像類
長谷川, 誠一, Hasegawa, Seiichi2001-10-22平成11(1999)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書概要 = 1999 Fiscal Year Final Research Report Summary1997 – 1999p.3p.-
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  • Subject Heading...基板のプラズマ処理 一軸配向 表面モフォロジー Poly-Si Nano-Si Crystal Struc...

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