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極薄ゲート酸化膜の原子層制御形成技術の開発
極薄ゲート酸化膜の原子層制御形成技術の開発
Paper
図書
財満, 鎮明, 名古屋大学
1997-1999
<Y151-H09555098>
National Diet Library
Subject Heading
Si/SiO2界面 シリコン初期酸化過程 高分解能エネルギー損失分充法 構造緩和過程
表面吸着水素
電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究
電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究
Paper
図書
安田, 幸夫, 名古屋大学
1996-1998
<Y151-H08455019>
National Diet Library
Subject Heading
高分解能電子エネルギー損失分光法 化学気相成長
表面吸着水素
表面反応メカニズム ガスソース分子線エピタキシー Si1-...
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