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酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究

酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究
Paper図書
松田, 良信, 長崎大学1999-2001<Y151-H11680488>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性スパツタリング 酸化物薄膜 MgO 金属モード 酸化物モード ヒステリシス マグネトロン 二次電子放出係数

新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
Paper図書
佐々木, 公洋, 金沢大学1997-1998<Y151-H09650349>
National Diet Library
  • Subject Headingスパツタリング PZT薄膜 金属モード 酸化物モード 同位体酸素 ZrTiターゲツト 金属・酸化物複合ターゲツト

新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
Digital文書・図像類
畑, 朋延, Hata, Tomonobu1999-12-07平成10(1998)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究成果報告書概要 = 1998 Fiscal Year Final Research Report Summary1997 – 1998p.2p.-
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  • Subject Headingスパッタリング PZT薄膜 金属モード 酸化物モード 同位体酸素 ZrTr ターゲット 金属一酸化物複合ターゲッ...
  • Note (General)...な酸素源ということになる.一方酸化物モードの場,合PbOから供給される酸素は30%であり,流した酸素ガ...

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