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- Subject Heading陽極化成 / フォトニック / 半導体 / 量子ドット
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- Subject HeadingSi (110) / SOI / CMOS / 陽極化成 / 1/fノイズ
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- Subject Headingポーラスシリコン / 多孔質シリコン / フォトルミネッセンス / 陽極化成 / 光学異方性 / 偏光 / ナノ構造
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- Subject Heading金属基板SOI シリサイド反応 陽極化成 多孔質シリコン エピタキシヤル
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- Subject Heading多孔質シリコン / フォトニック結晶 / 3次元周期構造 / 陽極化成 / X線ロッキングカーブ / X線2結晶法 / 走査電子顕...
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- Subject HeadingポーラスGaAs 量子細線 偏極電子 偏極電子源 スピン依存性発光 時間分解分光 陽極化成法
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- Subject Headingシリコン 可視発光 フオトルミネツセンス 多孔構造 光物性 結晶性 陽極化成 X線回折
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- Subject Heading生体情報計測 マイクロシステム マイクロパツケージング 低温接合技術 電気的フイードスルー マイクロポーラスシリコン 陽極化成 選択メツキ
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- Subject Heading... 3次元フォトニック結晶 選択陽極化成 X線ロッキングカーブ Sel...... X線回折 フォトニック結晶 陽極化成 電流密度変調法 3-dimensional photoni...
- Note (General)...液中において臨界電流密度以下で陽極化成すると多孔質シリコン層が形成さ......応して屈折率も変化し,多孔度は陽極化成電流密度で容易に制御できる.こ......正方格子ホトマスクを用いた選択陽極化成と,提案した自己クローニング法......で調べた.その結果,(1)選択陽極化成のレジストとしてポジ形フォトレ......対する横方向成長比が小さくなる陽極化成条件を探索して,1μmサイズのPS3DPSを実現する研究をさ...
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