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タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価

タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価
Paper図書
佐々木, 克孝, 北見工業大学2001-2002<Y151-H13650329>
National Diet Library
  • Subject Heading陽極酸化膜キヤパシタ Ta-Zr合金膜 高誘電率化 耐熱性 低損失特性...

窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製

窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製
Paper図書
佐々木, 克孝, 北見工業大学1994-1995<Y151-H06555087>
National Diet Library
  • Subject HeadingTa2N化合物膜 陽極酸化膜 薄膜キヤパシタ tanδ 耐熱性

アルミー遷移金属系金属間化合物の陽極酸化膜による高信頼性薄膜キヤパシタの実現

アルミー遷移金属系金属間化合物の陽極酸化膜による高信頼性薄膜キヤパシタの実現
Paper図書
佐々木, 克孝, 北見工業大学1998-2000<Y151-H10650299>
National Diet Library
  • Subject Heading陽極酸化膜キヤパシタ Al3Zr金属間化合物 酸化膜厚の薄層化 漏れ電...

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