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LB膜技術によるマルチ型弾性表面波センサとその多機能化に関する研究

LB膜技術によるマルチ型弾性表面波センサとその多機能化に関する研究
Paper図書
野村徹, 芝浦工業大学 [著][野村徹]2003-2004<Y151-H15560363>
National Diet Library
  • Subject Heading弾性表面波センサ / SH-SAW / 反射型遅延線 / センサアレイ / 無給電センサ / ワイヤレス / 層状構造 / 集積化センサ

半導体薄膜を用いた環境計測センサの開発

半導体薄膜を用いた環境計測センサの開発
Paper図書
原, 和裕, 東京電機大学1998-2000<Y151-H10650415>
National Diet Library
  • Subject Heading環境計測センサ 集積化センサ 薄膜ガスセンサ 酸化第二鉄 酸化第二錫 酸化タングステン

集積化複合機能FETバイオセンサの実用化に関する研究

集積化複合機能FETバイオセンサの実用化に関する研究
Paper図書
森泉, 豊栄, 東京工業大学1985-1987<Y151-S60850076>
National Diet Library
  • Subject Headingバイオセンサ 集積化センサ

シリコンカーバイドを用いた集積化インテリジエントガスセンサ

シリコンカーバイドを用いた集積化インテリジエントガスセンサ
Paper図書
勝部, 昭明, 埼玉大学1996-1997<Y151-H08455160>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコンカーバイド (SiC) 高温ガスセンサ NOガスセンサ LAPSガスセンサ 半導体ガスセンサ 集積化センサ

LAPS法による味覚・嗅覚センシングシステムの開発

LAPS法による味覚・嗅覚センシングシステムの開発
Paper図書
勝部, 昭明, 埼玉大学1993-1994<Y151-H05452193>
National Diet Library
  • Subject HeadingLAPS法 味覚センサー 嗅覚センサー 半導体集積化センサー 非接触測定 脂質膜 甘味料センサー

体内埋込圧力計測システムの開発

体内埋込圧力計測システムの開発
Paper図書
江刺, 正喜, 東北大学1988-1989<Y151-S63850084>
National Diet Library
  • Subject Heading圧力センサ 生体計測 マイクロマシーニング 半導体センサ 集積化センサ

医用低ドリフトモノリシツク容量形圧センサの開発

医用低ドリフトモノリシツク容量形圧センサの開発
Paper図書
松尾, 正之, 東北大学1985-1986<Y151-S60850075>
National Diet Library
  • Subject Heading圧力センサ 医用センサ 容量形圧力センサ 集積化センサ 低ドリフト 微細加工 Si直接接着 絶対圧力センサ

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