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高周波プラズマの電子エネルギー分布計測法に関する研究

高周波プラズマの電子エネルギー分布計測法に関する研究
Paper図書
進藤春雄, 東海大学 [著][進藤春雄]2006-2007<Y151-H18540496>
National Diet Library
  • Subject Heading半導体超微細化 / プラズマ加工 / マイクロマシン / プラズマ測定 / 高周波プラズマ / マイクロナノデバイス / ナノ材料 / 電子エネルギー分布

衝突輻射モデルに基づく、非平衡プラズマの電子エネルギー分布関数の分光計測

衝突輻射モデルに基づく、非平衡プラズマの電子エネルギー分布関数の分光計測
Paper図書
赤塚洋, 東京工業大学 [著][赤塚洋]2004-2005<Y151-H16540446>
National Diet Library
  • Subject Heading衝突輻射モデル / 電子エネルギー分布関数 / 分光計測 / 希ガスプラズマ / アルゴンプラズマ...

放電プラズマ中の空間的非一様性の解明に関する研究

放電プラズマ中の空間的非一様性の解明に関する研究
Paper図書
大江, 一行, 名古屋工業大学1998-1999<Y151-H10650274>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマの空間的変化 電子エネルギー分布 プローブ計測 Ar-O2プラズマ N2プラズマ グローバル...

負イオンビームによるチヤージアツプ・フリー・イオン注入技術の開発

負イオンビームによるチヤージアツプ・フリー・イオン注入技術の開発
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1993-1994<Y151-H05555008>
National Diet Library
  • Subject Heading負イオン注入 負イオンビーム輸送 チヤージアツプ 二次電子エネルギー分布 二次電子放出比 帯電緩和 絶縁物 ゲート酸化膜

電子およびイオンスウオームの機構とその応用

電子およびイオンスウオームの機構とその応用
Paper図書
田頭, 博昭, 北海道大学1992-1994<Y151-H04302024>
National Diet Library
  • Subject Headingスウオーム 電子スウオーム イオンスウオーム 衝突断面積 解離 電子エネルギー分布 誘導結合プラズマ プラズマデイスプレイ

水素負イオン源プラズマのモデリングと一様大面積負イオン生成・引き出しの物理

水素負イオン源プラズマのモデリングと一様大面積負イオン生成・引き出しの物理
Digital文書・図像類
畑山, 明聖, 宮本, 賢治, 深野, あづさ, 水野, 貴敏, 竹入, 康彦, 津守, 克嘉, 池田, 勝則, 井上, 多加志, 澤田, 圭司, Lettry, J2014科学研究費補助金研究成果報告書
Other Libraries in Japan
  • Subject Heading水素負イオン,プラズマ物理,電子エネルギー分布,ビーム引き出し,PICモデル,ビームハロ,表面生成,メニス...

低圧グロー放電プラズマ中の電子エネルギー分布関数に関する研究

低圧グロー放電プラズマ中の電子エネルギー分布関数に関する研究
Digital博士論文
木村, 高志
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading低圧グロー放電プラズマ 電子エネルギー分布関数 プローブ測定 高周波プラズマ

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