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Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading高誘電率絶縁膜 / シリコン / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 省電力LSI / Hf酸化膜 / メタルゲート / T...
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- Subject Headingシリコン / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 酸化膜 / 窒化膜 / 省電力LSI / Hf酸化膜
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- Subject Heading反応性スパツタリング 電子サイクロトロン共鳴プラズマ 原子状酸素 圧電性結晶 圧電性微結晶薄膜 出現ポテンシヤル...