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- Subject Headingナノ結晶ダイヤモンド / ダイヤモンド結晶核 / ダイヤモンドライクカーボン / 電子温度制御 / 低電子温度プラズマ / ナノウオール / ラジカル制御...
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- Subject Heading電子温度制御 振動励起 水素負イオン 解離付着 高周波放電 低電子温度 ...
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- Subject Heading大口径均一プラズマ ECRアンテナ スロツトアンテナ プラズマプロセス エツチング エネルギー制御 電子温度制御 ラジカル制御
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- Subject Heading低エネルギー電子 プラズマプロセス 高周波放電 室温プラズマ ホロー陰極 電子温度制御 プラズマ化学 反応性プラズマ
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