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高機能振動形センサに関する共同研究
高機能振動形センサに関する共同研究
Paper
図書
江刺正喜, 東北大学
1995-1996
<Y151-H07044114>
National Diet Library
Subject Heading
振動子 センサ 振動形センサ 角速度センサ 原子間力顕微鏡 容量検出 静電駆動
静電サーボ
フオトフアイブリケーシヨンによるマイクロアクチユエータ
フオトフアイブリケーシヨンによるマイクロアクチユエータ
Paper
図書
江刺, 正喜, 東北大学
1991-1994
<Y151-H03102001>
National Diet Library
Subject Heading
マイクロアクチユエータ フアトフアイブリケーシヨン マイクロマシニング 静電アクチユエータ 立体的微細加工
静電サーボ
能動カテーテル 協調制御
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