Search results for "高周波バイアス" | NDL Search

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Paper図書

伊藤治彦, 長岡技術科学大学 [著][伊藤治彦]2002-2004<Y151-H14550721>

National Diet Library

Subject HeadingCNラジカル / 膜重量 / 付着確率 / レーザー誘起蛍光法 / アモルファスCN膜 / 高周波放電 / CH_4/N_2系 / 高周波バイアス

Paper図書

光田好孝, 東京大学 [著][光田好孝]2001-2003<Y151-H13555194>

National Diet Library

Subject Heading強誘電体薄膜 / チタン酸バリウム / スパッタリング / 高周波バイアス / イオン衝撃 / 低温結晶化 / 誘電特性 / ヒステリ...

Paper図書

伊藤, 治彦, 長岡技術科学大学1999-2001<Y151-H11650760>

National Diet Library

Subject HeadingアモルフアスCN膜マイクロ波プラズマCVD ECRプラズマCVD CNラジカル高分解能発光スペクトルプラズマ診断高周波バイアス炭素材料

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