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高機能酸化物薄膜形成方法の研究

高機能酸化物薄膜形成方法の研究
Paper図書
松尾, 二郎, 京都大学2000-2001<Y151-H12650697>
National Diet Library
  • Subject Heading酸化膜 酸素クラスター 多体衝突効果 高密度照射効果 薄膜形成 酸化物薄膜

高エネルギー多原子イオンビーム照射による超硬度被膜形成の研究

高エネルギー多原子イオンビーム照射による超硬度被膜形成の研究
Paper図書
高岡, 義寛, 京都大学1998-2000<Y151-H10450119>
National Diet Library
  • Subject Headingフラーレン クラスター イオンビーム 炭素薄膜 多体衝突効果 高密度照射効果

次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究

次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
Paper図書
山田, 公, 京都大学1992-1994<Y151-H04555003>
National Diet Library
  • Subject Headingガスクラスター 高密度照射効果 低エネルギーイオンビーム ラテラルスパツタ イオン注入 表...

高機能酸化物薄膜形成方法の研究

高機能酸化物薄膜形成方法の研究
Digital文書・図像類
松尾, 二郎京都大学2002-03
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading...果 薄膜形成 酸素クラスター 高密度照射効果 酸化膜 oxidation oxide cluster m...

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