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摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究

摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究
Paper図書
大塚, 二郎, 静岡理工科大学1992-1993<Y151-H04402027>
National Diet Library
  • Subject Heading摩擦駆動 超精密位置決め 超高速位置決め ナノメータ 位置決め精度

プラスチツク構造による高速型超精密位置決め装置の試作

プラスチツク構造による高速型超精密位置決め装置の試作
Paper図書
大塚, 二郎, 東京工業大学1990-1991<Y151-H02555048>
National Diet Library
  • Subject Heading超精密位置決め プラスチツク ナノメータ 高速位置決め フイードバツク制御

高速・高精度位置決め用小型・高トルク超音波モータの試作

高速・高精度位置決め用小型・高トルク超音波モータの試作
Paper図書
上羽, 貞行, 東京工業大学1993-1994<Y151-H05555023>
National Diet Library
  • Subject Heading超音波モータ 複合振動子型 精密位置決め 高速位置決め 圧電素子 等価回路モデル 弾性潤滑状態 負荷特性

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