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積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究

積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究
Paper図書
菊田和重, 北海道大学 [著][菊田和重]2003-2004<Y151-H15560164>
National Diet Library
  • Subject HeadingCVD / シリコンウエハ / ガス流動 / 可視化 / 放射熱物性 / 薄膜 / LPCVD / 希薄ガス

シリコン量子ドツト構造の自己組織化形成法の研究

シリコン量子ドツト構造の自己組織化形成法の研究
Paper図書
広瀬, 全孝, 広島大学1995-1996<Y151-H07455142>
National Diet Library
  • Subject HeadingLPCVD シリコン量子ドツト 自己組織化 二重障壁構造 共鳴トンネル...

生体血管内で自走し計測・治療を行なうマイクロマシンの開発研究

生体血管内で自走し計測・治療を行なうマイクロマシンの開発研究
Paper図書
藤正, 巖, 東京大学1989-1991<Y151-H01870104>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロマシン マイクロアクチユエータ シリコンプロセス 微細加工 LPCVD RIE 人工筋肉サルコメア ハイブリツド・マイクロセンサ

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