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ブリユアン光散乱法による薄膜及びフイルムの非破壊・非接触評価に関する研究

ブリユアン光散乱法による薄膜及びフイルムの非破壊・非接触評価に関する研究
Paper図書
松川, 真美, 同志社大学2001-2002<Y151-H13650469>
National Diet Library
  • Subject Headingブリユアン光散乱 金属薄膜 SiC薄膜 フイルム

パルスレーザデポジシヨン法による炭化シリコン(SiC)薄膜作製プロセスの開発

パルスレーザデポジシヨン法による炭化シリコン(SiC)薄膜作製プロセスの開発
Paper図書
須田, 義昭, 佐世保工業高等専門学校1999-2001<Y151-H11650307>
National Diet Library
  • Subject Heading炭化シリコン パルスレーザデポジツシヨン SiC薄膜 外部電磁界 Nd: YAG Laser 直流バイアス オー...

3C-SiC薄膜エピ成長における不純物酸素の影響に関する研究

3C-SiC薄膜エピ成長における不純物酸素の影響に関する研究
Paper図書
孫, 勇, 九州工業大学1999-2000<Y151-H11650029>
National Diet Library
  • Subject Heading3C-SiC薄膜 エピタキシヤル成長 スパツタリング 水素プラズマ 不純物酸...

昇華近接法による高品質SiCの高速エピタキシヤル成長

昇華近接法による高品質SiCの高速エピタキシヤル成長
Paper図書
西野, 茂弘, 京都工芸繊維大学1997-1998<Y151-H09450011>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコンカーバイド SiC 昇華法 エピタキシヤル成長 近接法 昇華エピアキシヤル成長 SiC薄膜 SiCデバイス

極微弱ラマン散乱分光システムの開発と原子層レベルの材料評価への応用

極微弱ラマン散乱分光システムの開発と原子層レベルの材料評価への応用
Paper図書
中島, 信一, 大阪大学1992-1993<Y151-H04555005>
National Diet Library
  • Subject Headingラマン散乱分光 超薄膜 微弱光検出 ZnTe薄膜 シリコン薄膜 GaSb薄膜 SiC薄膜

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