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放射光による任意形状のマイクロ立体構造体デバイス作製プロセスの研究

放射光による任意形状のマイクロ立体構造体デバイス作製プロセスの研究
Paper図書
服部正, 姫路工業大学 [著][服部正]2001-2003<Y151-H13450299>
National Diet Library
  • Subject Heading放射光 / LIGA / マイクロマシン / X線マスク / ナノ・マイクロファブリケーション / マイクロシステム...

低応力X線吸収体の成膜とX線マスクのパターン位置精度の向上に関する研究

低応力X線吸収体の成膜とX線マスクのパターン位置精度の向上に関する研究
Digital博士論文障害者向け資料あり
丸本, 健二2013-11-25
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Subject Heading半導体デバイス リソグラフィー X線マスク 応力 吸収体

高アスペクト比X線リソグラフイによる高出力マイクロアクチユエータ

高アスペクト比X線リソグラフイによる高出力マイクロアクチユエータ
Paper図書
杉山, 進, 立命館大学1996-1998<Y151-H08455046>
National Diet Library
  • Subject HeadingデイープX線リソグラフイー 高アスペクト微細構造体 シンクロトロン放射光 X線マスク LIGAプロセス Ni電鋳 マイクロアクチユエータ

Ｘ線マスクの高精度化に関する研究

Ｘ線マスクの高精度化に関する研究
Digital博士論文
小田, 政利
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject HeadingX線マスク 高精度化 リゾグラフィ研究 SOR

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