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超低誘電率シリカ膜の気相堆積

超低誘電率シリカ膜の気相堆積
Paper図書
内田, 恭敬, 帝京科学大学2000-2001<Y151-H12650022>
National Diet Library
  • Subject Headinglow-k ポーラスシリカ膜 TICS TMA 層間絶縁膜 空孔率

超高耐熱性と誘電性能を示す芳香族バイオポリベンザゾールの開発

超高耐熱性と誘電性能を示す芳香族バイオポリベンザゾールの開発
Digital博士論文障害者向け資料あり
鐘, 顕鋳2022-06
National Diet Library
  • Subject Headingpolybenzazoles thermoresistance low-k copolymer H-bond

Al2O3およびAlTiOの化合物半導体異種材料融合集積技術への応用

Al2O3およびAlTiOの化合物半導体異種材料融合集積技術への応用
Digital博士論文障害者向け資料あり
宇井, 利昌2017-03
National Diet Library
  • Subject HeadingAlTiO heterogeneous integration InAs/high-k/low-k modulation doping FET

超高耐熱性と誘電性能を示す芳香族バイオポリベンザゾールの開発

超高耐熱性と誘電性能を示す芳香族バイオポリベンザゾールの開発
Digital博士論文
鐘, 顕鋳2022-06
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Headingpolybenzazoles thermoresistance low-k copolymer H-bond

Al2O3およびAlTiOの化合物半導体異種材料融合集積技術への応用

Al2O3およびAlTiOの化合物半導体異種材料融合集積技術への応用
Digital博士論文
宇井, 利昌2017-03
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject HeadingAlTiO heterogeneous integration InAs/high-k/low-k modulation doping FET

微小角入射X線小角散乱による薄膜表面および薄膜に埋もれたナノ構造の評価に関する研究

微小角入射X線小角散乱による薄膜表面および薄膜に埋もれたナノ構造の評価に関する研究
Digital博士論文
伊藤, 義泰
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading...面界面 粒子・空孔サイズ分布 Low-k 磁性ナノ粒子 CD計測 Grazing-incidence...

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