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Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading有機シリコン リモートプラズマ シリコンカーバイド薄膜 ヘキサメチルジシラン SiN薄膜 水素ラジカル反応 プラズマCVD 表面波プラズマ
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- Subject Heading有機シリコン リモートプラズマ シリコンカーバイド薄膜 ヘキサメチルジシラン SiO2薄膜 水素ラジカル反応 プラズマCVD TEOS
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