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反応性イオンエッチング特性に及ぼす装置構造とエッチングパラメータの影響
反応性イオンエッチング特性に及ぼす装置構造とエッチングパラメータの影響
紙
デジタル
博士論文
障害者向け資料あり
塚田勉 [著]
<UT51-95-J315>
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UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
デジタル
文書・図像類
後藤, 俊夫, 河野, 明廣, 堀, 勝, 伊藤, 昌文, 寒川, 誠二, 塚田, 勉
2000-03
インターネットで読める
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電子材料
電子材料
紙
デジタル
雑誌
工業調査会
1962-2010
<Z16-225>
インターネットで読める
国立国会図書館
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真空
真空
紙
雑誌
日本真空協会
1958-2007
<Z16-474>
国立国会図書館
アネルバ技報
アネルバ技報
紙
雑誌
アネルバ
1996-2005
<Z14-B382>
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理化学研究所報告
理化学研究所報告
紙
デジタル
雑誌
理化学研究所 編
理化学研究所
1958-1992
<Z14-186>
インターネットで読める
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表面技術
表面技術
紙
雑誌
表面技術協会
1989-
<Z17-291>
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Ionics : The Journal of ion science and technology
Ionics : The Journal of ion science and technology
紙
デジタル
雑誌
アイオニクス
1975-1997
<Z17-860>
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分析化学
分析化学
紙
雑誌
日本分析化学会 編
日本分析化学会
1952-
<Z17-9>
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精密機械 : 精機学会誌
精密機械 : 精機学会誌
紙
雑誌
精機学会
[1933]-1985
<Z16-466>
国立国会図書館
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応用物理
応用物理
紙
雑誌
応用物理学会
1932-
<Z15-243>
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