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Cu CMP用砥粒フリー"ミセルスラリー"の概念及びその特性
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デジタル
文書・図像類
沖田, 光史
, 船越, 真二, 松田, 隆之, 高橋, 秀明, 鶴ヶ谷, 宗昭, 宮崎, 久遠, 土肥, 俊郎
埼玉大学地域共同研究センター
2003
埼玉大学地域共同研究センター紀要
3
p.3-6
全国の図書館
著者標目
沖田, 光史
船越, 真二 松田, 隆之 高橋, 秀明 鶴ヶ谷, 宗昭 ...
コンバーテック
コンバーテック
紙
デジタル
雑誌
加工技術研究会
1985-
<Z17-692>
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埼玉大学地域共同研究センター紀要
埼玉大学地域共同研究センター紀要
紙
雑誌
埼玉大学地域共同研究センター
2001-2008
<Z74-C975>
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