大西, 和博, 土屋, 龍太, 山内, 豪, 大塚, 文雄, 満田, 勝弘, 長谷, 昌俊, 中村, 徹, 川原, 尊之, 尾内, 享裕, OHNISHI, Kazuhiro, TSUCHIYA, Ryuta, YAMAUCHI, Takeshi, OOTSUKA, Fumio, MITSUDA, Katsuhiro, HASE, Masatoshi, NAKAMURA, Tohru, KAWAHARA, Takayuki, ONAI, Takahiro電子情報通信学会2002-01-15電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス573p.25-30
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