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Effective Young’s Modulus of Elelectrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers

Effective Young’s Modulus of Elelectrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers
紙図書
Chang, Tso-Fu Mark, 中島, 英亮, Nakajima, Hideaki, 陳, 君怡, Chen, Chun Yi, 山根, 大輔, Yamane, Daisuke, 小西, 敏文, Konishi, Toshifumi, 伊藤, 浩之, Ito, Hiroyuki, 町田, 克之, Machida, Katsuyuki, 益, 一哉, Masu, Kazuya, Toshiyoshi, Hiroshi, 曽根, 正人, Sone, MasatoIFSA PUBLISHING, S.L.2021-04Advances in Microelectronics: Reviews3
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