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新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成
新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成
紙
図書
佐藤, 徳芳, 東北大学
1993-1995
<Y151-H05558053>
国立国会図書館
件名
大口径均一プラズマ ECRアンテナ スロツトアンテナ プラズマプロセス エツチング
エネルギー制御
電子温度制御 ラジカル制御
制御されたフラーレンプラズマによるフラーレン膜の堅牢化
制御されたフラーレンプラズマによるフラーレン膜の堅牢化
紙
図書
真瀬, 寛, 茨城大学
1998-1999
<Y151-H10680452>
国立国会図書館
件名
フラーレン フラーレンーアルゴン混合磁化プラズマ フラーレンイオン 電極バイアス実験 イオン
エネルギー制御
フラーレン膜の堅牢化 レーザー脱離イオン化TOFMS フラ...
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