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次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発
次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発
紙
図書
安田, 幸夫, 名古屋大学
1996-1998
<Y151-H08505001>
国立国会図書館
件名
Coシリサイド シヨツトキコンタクト特性
シヨツトキ障壁
高さ 界面固相反応 コンタクト抵抗率
ナノプローブを用いたInAs微細構造の表面近傍電子状態評価と電子伝導機構の解明
ナノプローブを用いたInAs微細構造の表面近傍電子状態評価と電子伝導機構の解明
紙
図書
高橋琢二, 東京大学 [著]
[高橋琢二]
2001-2002
<Y151-H13650024>
国立国会図書館
件名
InAs細線/薄膜構造 / 導電性探針AFM / レーザ光照射STM / GaAs巨大ステップ /
ショットキ障壁
/ 表面電位 / 微分コンダクタンス / 光吸収特性
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