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水素ラジカル支援プラズマ化学気相成長法による立方晶炭化ケイ素結晶の低温成長

水素ラジカル支援プラズマ化学気相成長法による立方晶炭化ケイ素結晶の低温成長
紙図書
安井, 寛治, 長岡技術科学大学1997-1998<Y151-H09650028>
国立国会図書館
  • 件名水素ラジカル プラズマ化学気相成長法 立方晶炭素ケイ素

磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成技術を用いたナノテクプロセスへの応用

磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成技術を用いたナノテクプロセスへの応用
紙図書
大坪昌久, 宮崎大学 [著][大坪昌久]2004-2005<Y151-H16560248>
国立国会図書館
  • 件名磁気中性線放電プラズマ / カーボンナノチューブ (CNTs) / プラズマ化学気相成長法 / ヌル磁場 / プラズマ動的制御 / ナノテクノロジー ...

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