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デジタル博士論文障害者向け資料あり
国立国会図書館
- 件名酸化ガリウム Ga2O3 準安定相 エピタキシャル成長 薄膜 ミストCVD 強誘電体 結晶成長 酸化物 酸化ハフニウム HfO2 混晶...
- 一般注記...相強誘電体酸化物に焦点を当て、ミストCVD法による薄膜形成とそれらの基礎......して、Ga2O3系酸化物薄膜のミストCVD法の特性を利用した形成技術につ......的について述べた。第2章では、ミストCVD法によるε-Ga2O3薄膜のヘ......述べ、結晶成長法として使用したミストCVD法の特徴とその有用性について述......を得るのに必要である。そこで、ミストCVD法による薄膜成長におけるストイ......坦化を実現し、その結果として、ミストCVD法の薄膜成長としての制御性高さ......ついても調査した。第3章では、ミストCVD法により成長したε-Ga2O3......る結果を見出した。第4章では、ミストCVD法によりε-(AlxGa1-x......薄膜の形成技術について述べる。ミストCVD法の利点の一つである「原料溶液......とを明らかにした。第6章では、ミストCVD法による高密度の不揮発性メモリ......ハイスループット化が期待できるミストCVD法の優位性は大きい。本成果として、結晶化のためのポストアニー...
デジタル博士論文
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- 件名酸化ガリウム Ga2O3 準安定相 エピタキシャル成長 薄膜 ミストCVD 強誘電体 結晶成長 酸化物 酸化ハフニウム HfO2 混晶...
- 一般注記...相強誘電体酸化物に焦点を当て、ミストCVD法による薄膜形成とそれらの基礎......して、Ga2O3系酸化物薄膜のミストCVD法の特性を利用した形成技術につ......的について述べた。第2章では、ミストCVD法によるε-Ga2O3薄膜のヘ......述べ、結晶成長法として使用したミストCVD法の特徴とその有用性について述......を得るのに必要である。そこで、ミストCVD法による薄膜成長におけるストイ......坦化を実現し、その結果として、ミストCVD法の薄膜成長としての制御性高さ......ついても調査した。第3章では、ミストCVD法により成長したε-Ga2O3......る結果を見出した。第4章では、ミストCVD法によりε-(AlxGa1-x......薄膜の形成技術について述べる。ミストCVD法の利点の一つである「原料溶液......とを明らかにした。第6章では、ミストCVD法による高密度の不揮発性メモリ......ハイスループット化が期待できるミストCVD法の優位性は大きい。本成果として、結晶化のためのポストアニー...
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