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シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用
紙図書
村上, 浩一, 筑波大学1999-2001<Y151-H11555001>
国立国会図書館
  • 件名シリコン 水素 水素分子 Si-H結合 ラマン散乱 レーザーアニール ポリシリコン化 水素複合体中心

レーザーアニールによるシリコン・ゲルマニウム積層薄膜の同時結晶化に関する研究

レーザーアニールによるシリコン・ゲルマニウム積層薄膜の同時結晶化に関する研究
デジタル博士論文障害者向け資料あり
山崎, 浩司奈良先端科学技術大学院大学2014-03-24
インターネットで読める国立国会図書館全国の図書館
  • 件名同時結晶化 レーザーアニール シリコン ゲルマニウム

液体原料シリコン系薄膜のレーザーアニールによる形成と結晶シリコン薄膜トランジスタへの応用

液体原料シリコン系薄膜のレーザーアニールによる形成と結晶シリコン薄膜トランジスタへの応用
デジタル博士論文障害者向け資料あり
菱谷, 大輔奈良先端科学技術大学院大学2017-03-24
インターネットで読める国立国会図書館全国の図書館
  • 件名薄膜トランジスタ レーザーアニール 結晶化 ゲート絶縁膜 シクロペンタシラン

積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成 : 平成24年度実績報告書

積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成 : 平成24年度実績報告書
デジタル規格・テクニカルリポート類
堀田, 昌宏奈良先端科学技術大学院大学2013
インターネットで読める全国の図書館
  • 件名薄膜トランジスタ ゲルマニウム シリコン レーザーアニール

積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成 : 平成23-24年度研究成果報告書

積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成 : 平成23-24年度研究成果報告書
デジタル規格・テクニカルリポート類
堀田, 昌宏奈良先端科学技術大学院大学2013
インターネットで読める全国の図書館
  • 件名薄膜トランジスタ ゲルマニウム シリコン レーザーアニール

積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成 : 平成23年度実績報告書

積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成 : 平成23年度実績報告書
デジタル規格・テクニカルリポート類
堀田, 昌宏奈良先端科学技術大学院大学2012
インターネットで読める全国の図書館
  • 件名薄膜トランジスタ ゲルマニウム シリコン レーザーアニール

高品質シリコン薄膜の形成・新規評価技術の確立とそのディスプレイデバイスへの応用 : 平成24年度実績報告書

高品質シリコン薄膜の形成・新規評価技術の確立とそのディスプレイデバイスへの応用 : 平成24年度実績報告書
デジタル規格・テクニカルリポート類
町田, 絵美奈良先端科学技術大学院大学2013
インターネットで読める全国の図書館
  • 件名薄膜トランジスタ 多結晶シリコン薄膜 レーザーアニール 電気的欠陥 Bio-LBL法

高品質シリコン薄膜の形成・新規評価技術の確立とそのディスプレイデバイスへの応用 : 平成23年度実績報告書

高品質シリコン薄膜の形成・新規評価技術の確立とそのディスプレイデバイスへの応用 : 平成23年度実績報告書
デジタル規格・テクニカルリポート類
町田, 絵美奈良先端科学技術大学院大学2012
インターネットで読める全国の図書館
  • 件名薄膜トランジスタ 多結晶シリコン薄膜 レーザーアニール 電気的欠陥 Bio-LBL法

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