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新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
紙図書
佐々木, 公洋, 金沢大学1997-1998<Y151-H09650349>
国立国会図書館
  • 件名スパツタリング PZT薄膜 金属モード 酸化物モード 同位体酸素 ZrTiターゲツト 金属・酸化物複合ターゲツト

新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
デジタル文書・図像類
畑, 朋延, Hata, Tomonobu1999-12-07平成10(1998)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究成果報告書概要 = 1998 Fiscal Year Final Research Report Summary1997 – 1998p.2p.-
全国の図書館
  • 件名スパッタリング PZT薄膜 金属モード 酸化物モード 同位体酸素 ZrTr ターゲット 金属一酸化物複合ターゲット Sput...
  • 一般注記金沢大学工学部 同位体酸素(^<18>O_2)ガスを用いてPZT(Pb(Zr,Ti)O...

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