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ナノ加工・計測のための気圧管理可能な環境一定制御チャンバーの実用化
ナノ加工・計測のための気圧管理可能な環境一定制御チャンバーの実用化
紙
図書
山口勝己, 大阪府立産業技術総合研究所 [著]
[山口勝己]
2005-2006
<Y151-H17560112>
国立国会図書館
件名
環境補償 / 環境一定制御チャンバー / レーザ干渉
測長
器 / 超精密加工 / 気圧 / 温度 / 湿度 / 位置決...
結晶格子を基準スケールとする三次元測定器
結晶格子を基準スケールとする三次元測定器
紙
図書
川勝, 英樹, 東京大学
1997-1999
<Y151-H09355013>
国立国会図書館
件名
STM AFM
測長
結晶格子 トライポロジー ナノカンチレバー
結晶格子を基準に用いた二次元
測長
装置の開発
結晶格子を基準に用いた二次元測長装置の開発
紙
図書
樋口, 俊郎, 東京大学
1991-1993
<Y151-H03555083>
国立国会図書館
件名
測長
計量 STM ナノテクノロジー 結晶
高温材料開発のための新しい材料試験システムの試作とその応用
高温材料開発のための新しい材料試験システムの試作とその応用
紙
図書
若島, 健司, 東京工業大学
1996-1997
<Y151-H08555161>
国立国会図書館
件名
走査レーザ
測長
システム 高温動的ヤング率 内部摩擦 複合材料 擬弾性 耐熱...
結晶格子をスケールとするサブナノメートル
測長
・加工機の開発研究
結晶格子をスケールとするサブナノメートル測長・加工機の開発研究
紙
図書
明田川, 正人, 長岡技術科学大学
1996-1998
<Y151-H08555034>
国立国会図書館
件名
走査型トンネル顕微鏡 (STM) 比較
測長
結晶格子 ナノメートル 熱ドリフト 極低熱膨張ガラス 超精...
摩擦駆動による精密位置決め
摩擦駆動による精密位置決め
紙
図書
大塚, 二郎, 東京工業大学
1988-
<Y151-S63850051>
国立国会図書館
件名
摩擦駆動 精密位置決め ダイレクトドライブモータ レーザ
測長
トラクシヨン
磁気記憶装置のヘツド・記録媒体インターフエイスの動力学と動作解析に関する研究
磁気記憶装置のヘツド・記録媒体インターフエイスの動力学と動作解析に関する研究
紙
図書
太田, 博, 名古屋大学
1989-1990
<Y151-S63460106>
国立国会図書館
件名
浮動ヘツド 薄膜気体潤滑 レイノルズ方程式 面粗さ スリツプ流れ 過渡応答 レーザ
測長
磁気記憶装置
追尾式レーザ干渉
測長
器による6自由度相対運動計測・補正に基づく超精密機械システム
追尾式レーザ干渉測長器による6自由度相対運動計測・補正に基づく超精密機械システム
デジタル
文書・図像類
大岩, 孝彰
2020-06-09
全国の図書館
件名
精密機械システム レーザトラッカ 三次元座標計測 2自由度パラレルメカニズム レーザ干渉
測長
器
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