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面内に構造を持つ試料の分光エリプソメトリ解析法
面内に構造を持つ試料の分光エリプソメトリ解析法
紙
図書
山口十六夫, 静岡大学 [著]
[山口十六夫]
2003-2006
<Y151-H15560031>
国立国会図書館
件名
スキャッタロメトリ / 分光エリプソメトリ / 周期的ナノ構造 / リソグラフィ / 光計測 / 矩形
溝構造
/ 周期的Taワイアー
十六族元素を含む新型遷移金属クラスター化合物の合成と化学的性質
十六族元素を含む新型遷移金属クラスター化合物の合成と化学的性質
紙
図書
磯辺, 清, 大阪市立大学
1995-1997
<Y151-H07404038>
国立国会図書館
件名
酸化物クラスター ESMS 不完全二重立方体型 ダブルブツクシエル
溝構造
アンフオテリツク オキソ型メタレート
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