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タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価
タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価
紙
図書
佐々木, 克孝, 北見工業大学
2001-2002
<Y151-H13650329>
国立国会図書館
件名
陽極酸化膜キヤパシタ Ta-Zr合金膜 高誘電率化 耐熱性 低損失特性
漏れ電流特性
Schottky伝導
アルミー遷移金属系金属間化合物の陽極酸化膜による高信頼性薄膜キヤパシタの実現
アルミー遷移金属系金属間化合物の陽極酸化膜による高信頼性薄膜キヤパシタの実現
紙
図書
佐々木, 克孝, 北見工業大学
1998-2000
<Y151-H10650299>
国立国会図書館
件名
陽極酸化膜キヤパシタ Al3Zr金属間化合物 酸化膜厚の薄層化
漏れ電流特性
周波数特性 耐熱性 高誘電率化 低損失化
検索結果は以上です。
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