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ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用
紙図書
島田, 尚一, 大阪大学1997-1998<Y151-H09555045>
国立国会図書館
  • 件名直線基準 光線基準 レーザービーム 方向安定性 直線性 追尾性 直進機構 形状測定

光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用

光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用
紙図書
島田, 尚一, 大阪大学1994-1996<Y151-H06555037>
国立国会図書館
  • 件名直線基準 レーザービーム 直進機構 真直度 方向安定性 形状測定

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