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超音波振動を利用した硬脆材料の超高速外周刃切断加工法の開発
超音波振動を利用した硬脆材料の超高速外周刃切断加工法の開発
紙
図書
諏訪部仁, 金沢工業大学 [著]
[諏訪部仁]
2004-2005
<Y151-H16560102>
国立国会図書館
件名
砥粒加工
/ 切断 / 研削 / 外周刃 / 超音波 / 高速加工
次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究
次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究
紙
図書
周立波, 茨城大学 [著]
[周立波]
2004-2006
<Y151-H16360061>
国立国会図書館
件名
極薄Siウエハ / 固定
砥粒加工
技術 / 加工変質層 / パワー・デバイス / 化学・機械融...
多機能デバイス基板の超薄型化加工技術の研究開発
多機能デバイス基板の超薄型化加工技術の研究開発
紙
図書
峠睦, 熊本大学 [著]
[峠睦]
2002-2003
<Y151-H14350074>
国立国会図書館
件名
多機能デバイス基板 / 水晶振動子 / 超薄型化加工 /
砥粒加工
/ ラッピング / ポリシング / チタン酸バリウム / ...
超微細砥粒の電気泳動付着現象を利用した超微粒砥石の開発
超微細砥粒の電気泳動付着現象を利用した超微粒砥石の開発
紙
図書
谷, 泰弘, 東京大学
1992-1993
<Y151-H04555032>
国立国会図書館
件名
超微細砥粒 電気泳動現象 超微粒子 鏡面研削 硬脆材料 超精密加工
砥粒加工
砥石
ウエットブラストによる表面微細加工技術の構築
ウエットブラストによる表面微細加工技術の構築
デジタル
文書・図像類
宮島, 敏郎
2011-05-31
福井大学 重点研究成果集2011 ー明日への挑戦ー
p.76-77
全国の図書館
件名
ウエットブラスト 微細加工技術 MSE
砥粒加工
表面創製
微細穴内面の超精密加工技術に関する研究
微細穴内面の超精密加工技術に関する研究
紙
図書
佐藤, 元太郎, 信州大学
1987-1988
<Y151-S62550092>
国立国会図書館
件名
砥粒加工
液体ホーニング 超精密加工 噴射加工 エロージヨン 流体輸...
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