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検索結果 3 件

水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価

水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価
紙図書
丸山, 一典, 長岡技術科学大学1998-1999<Y151-H10650689>
国立国会図書館
  • 件名ECRプラズマCVD 硬質炭素膜 熱腐蝕 RFバイアス マススペクトル ガス放出スペクトル

ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用

ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用
紙図書
六倉, 信喜, 東京電機大学1994-1995<Y151-H06650028>
国立国会図書館
  • 件名ダイヤモンド薄膜 プラズマCVD 高周波プラズマ 硬質炭素膜

カーボン超微粒子の高速衝撃における硬質非晶質炭素膜の潤滑性保護膜効果

カーボン超微粒子の高速衝撃における硬質非晶質炭素膜の潤滑性保護膜効果
紙図書
井出, 敞, 愛媛大学1985-1986<Y151-S60550094>
国立国会図書館
  • 件名硬質炭素膜 アモルフアス半導体炭素膜 超微粒子 カーボンブラツク 微粒...

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