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フラックスエピタキシー法による高機能性単結晶基板の開発
フラックスエピタキシー法による高機能性単結晶基板の開発
紙
図書
鯉沼秀臣, 東京大学, 東京工業大学 [著]
[鯉沼秀臣]
2004-2005
<Y151-H16350110>
国立国会図書館
件名
レーザー分子線エピタキシー / コンビナトリアル薄膜法 / 3元
組成傾斜膜
法 / フラックス法 / 単結晶薄膜
デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構
デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構
紙
図書
篠崎, 和夫, 東京工業大学
1999-2000
<Y151-H11450242>
国立国会図書館
件名
デジタル制御MOCVD バツフアー層
組成傾斜膜
残留応力 Pb (Zr, Ti) O3 (PZT) PbT...
プラズマエツチングとプラズマ重合の同時制御による金属-高分子
組成傾斜膜
の試作
プラズマエツチングとプラズマ重合の同時制御による金属-高分子組成傾斜膜の試作
紙
図書
原口, 俊秀, 北九州工業高等専門学校
1993-1994
<Y151-H05650661>
国立国会図書館
件名
プラズマエツチング スパツタ プラズマ重合
組成傾斜膜
ステンレス鋼 表面処理 ESCA分析
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