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半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発
半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発
紙
図書
秋山伸幸, 長岡技術科学大学 [著]
[秋山伸幸]
2002-2003
<Y151-H14350217>
国立国会図書館
件名
ナノメータ不純物検出 / 結晶空洞検出 / 半導体ウエハ表面検査 / COP検出 / インライン
自動検査
装置
フアインセラミツクス内部微細欠陥高速検出・評価設備の開発
フアインセラミツクス内部微細欠陥高速検出・評価設備の開発
紙
図書
秋山, 伸幸, 長岡技術科学大学
1997-1998
<Y151-H09555122>
国立国会図書館
件名
セラミツクスクラツク クラツク検査 セラミツクス内部欠陥 レーザ拡散 外観
自動検査
マイクロクラツク検査
ニユーロコンピユータによる工業製品の感覚的な検査システムの実用化に関する研究
ニユーロコンピユータによる工業製品の感覚的な検査システムの実用化に関する研究
紙
図書
小坂, 敏文, 東京工業高等専門学校
1993-1994
<Y151-H05555079>
国立国会図書館
件名
ニユーロコンピユータ ニユーラルネツトワーク モータ 異音
自動検査
騒音
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