水谷孝, 名古屋大学 [著][水谷孝]2003-2005<Y151-H15206040>
国立国会図書館
- 件名GaN HEMT / GaN MISHEM / 電流コラプス / 高誘電率膜 / KFM / 電位測定
服部健雄, 武蔵工業大学 [著][服部健雄]2003-2005<Y151-H15206006>
国立国会図書館
- 件名放射光 / 光電子分光法 / 角度分解光電子分光法 / 電子帯構造 / ゲート絶縁膜 / 高誘電率膜 / 希土類金属酸化膜 / 最大エントロピー法
吉川, 公麿, 広島大学1999-2001<Y151-H11555088>
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- 件名高誘電率膜 ペロブスカイト 電極金属 キヤパシタ BST チタン酸バリ...
平山, 昌樹, 東北大学1998-1999<Y151-H10450111>
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- 件名低誘電率層間絶縁膜 高誘電率膜 マイクロ波 プラズマ 半導体 プロセス ラジアルラインスロ...