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極端紫外域での位相差型X線顕微鏡による表面微細構造観察
極端紫外域での位相差型X線顕微鏡による表面微細構造観察
紙
図書
木下博雄, 兵庫県立大学 [著]
[木下博雄]
2003-2005
<Y151-H15206010>
国立国会図書館
件名
X線顕微鏡 /
EUVリソグラフィ
/ 欠陥検査 / 位相欠陥 / ミラウ干渉 / 多層膜
コヒーレントEUV光(高次高調波)によるEUV光学系の表面形状計測
コヒーレントEUV光(高次高調波)によるEUV光学系の表面形状計測
紙
図書
緑川克美, 理化学研究所 [著]
[緑川克美]
2004-2005
<Y151-H16206010>
国立国会図書館
件名
EUV / コヒーレントX線 / 高次高調波 / 超短パルスレーザー /
EUVリソグラフィ
/ フェムト秒レーザー / 軟X線光学 / 干渉計測
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